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又一家中国厂商生产出光刻机!
全球能够生产芯片光刻机的厂商只有四家,分别是荷兰的ASML,日本的尼康、佳能,中国的上海微电子。
其中ASML的技术最强,是唯一能够和生产EUV光刻机的厂商,目前精度已经支持到3nm。
再是佳能,其干式光刻机,可实现55nm及以上的分辨率,上海微电子也是干式光刻机,分辨率标注为90nm。
全球第五家光刻机厂商诞生了,并且还是一家中国大陆的厂商,毕竟目前在半导体设备领域,我们最落后的就是光刻机了,有了突破必须兴奋啊。
这家厂商叫大族激光,是国内顶尖的激光设备龙头,在全球激光设备企业中,利润规模第一,大族激光营收、利润规模排名第二。
目前像能够生产接触式、步进式光刻机的厂商还有很多,这些分别是第一、二代光刻机。只是这些光刻机,生产的芯片工艺很是成熟,大多都是μm级别,达不到nm工艺,所以大家习惯性的不说这些光刻机。
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